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快速热退火和氢等离子体处理对富硅氧化硅薄膜微结构与发光的影响 期刊论文
物理学报, 2002, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 1564-1570
Authors:  王永谦;  陈维德;  陈长勇;  刁宏伟;  张世斌;  徐艳月;  孔光临;  廖显伯
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