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高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
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新型阵列级联耦合结构AlN谐振器的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张萌
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环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
发明人:  张萌;  宁瑾;  司朝伟;  韩国威;  赵永梅
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