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一种GaN复合薄膜及在Si衬底上形成GaN复合薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-02
发明人:  赵丹梅;  赵德刚;  江德生;  刘宗顺;  陈平
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异质集成光波导可调波分复用/解复用器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-06-25
发明人:  刘瑞丹;  王玥;  吴远大;  安俊明
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