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作者:  Liu GH;  Chen YH;  Jia CH;  Wang ZG;  Liu GH Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: liugenhua@semi.ac.cn;  yhchen@red.semi.ac.cn
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作者:  Jia CH;  Chen YH;  Liu GH;  Liu XL;  Yang SY;  Wang ZG;  Jia CH Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: yhchen@red.semi.ac.cn
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作者:  Liu GH;  Chen YH;  Liu Y;  Jia CH;  Wang ZG;  Chen, YH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yhchen@red.semi.ac.cn
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作者:  Liu GH;  Chen YH;  Jia CH;  Wang ZG;  Liu GH Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: yhchen@red.semi.ac.cn
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作者:  Jia CH;  Chen YH;  Liu GH;  Liu XL;  Yang SY;  Wang ZG;  Chen YH Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: yhchen@red.semi.ac.cn
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