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Hydrogen related defects in neutron-irradiated silicon grown in hydrogen ambient 会议论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 66 (1-4), XIAN, PEOPLES R CHINA, JUN 10-14, 2002
作者:  Wang QY;  Wang JH;  Deng HF;  Lin LY;  Wang QY Chinese Acad Sci Inst Semicond Mat Sci Ctr Beijing 100083 Peoples R China.
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Neutron Irradiation  Annealing  Defects In Silicon  Spectra