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谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何玉铭
Adobe PDF(6703Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/2  |  提交时间：2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/0  |  提交时间：2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei, Lei;   Kuai, Xuebao;   Bao, Yidi;   Wei, Jiangtao;   Yang, Liangliang;   Song, Peishuai;   Zhang, Mingliang;   Yang, Fuhua;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(3950Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1/1  |  提交时间：2022/07/25
高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：548/6  |  提交时间：2020/08/31
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xin Tong;   Yan Su;   Zhaofeng Li;   Chaowei Si;   Guowei Han;   Jin Ning;   Fuhua Yang
Adobe PDF(2848Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2021/11/30
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xin Tong;  Zhaofeng Li;  Guowei Han;  Nan Liu;  Yan Su;  Jin Ning;  Fuhua Yang
Adobe PDF(1838Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：124/0  |  提交时间：2019/11/19