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4H-SiC基AlN栅介质原子层沉积生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  陈俊
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无权访问的条目 学位论文
作者:  吴卓辉
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Lei Meng;   Hongyu Chai ;   Xiaoguang Yang ;   Zunren Lv ;  Tao Yang
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jun Chen ;   Bowen Lv ;   Feng Zhang ;   Yinshu Wang ;   Xingfang Liu ;   Guoguo Yan ;   Zhanwei Shen ;   Zhengxin Wen ;   Lei Wang ;   Wanshun Zhao ;   Guosheng Sun ;   Chao Liu ;   Yiping Zeng
Adobe PDF(3762Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2020/07/31