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In-situ Boron-doped Low-stress LPCVD Polysilicon for Micromechanical Disk Resonator 会议论文
2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 20-23, 2008
作者:  Liu, YF;  Xie, J;  Yang, JL;  Tang, LJ;  Yang, FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Films  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang Liang;  Zhao Yongmei;  Ning Jin;  Sun Guosheng;  Wang Lei;  Liu Xingfang;  Zhao Wanshun;  Zeng Yiping;  Li Jinmin
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Heavily doped polycrystalline 3C-SiC growth on SiO2/Si(100) substrates for resonator applications 会议论文
Silicon Carbide and Related Materials 2006丛书标题: MATERIALS SCIENCE FORUM, Newcastle upon Tyne, ENGLAND, SEP, 2006
作者:  Sun, G (Sun, Guosheng);  Ning, J (Ning, Jin);  Liu, X (Liu, Xingfang);  Zhao, Y (Zhao, Yongmei);  Li, J (Li, Jiaye);  Wang, L (Wang, Lei);  Zhao, W (Zhao, Wanshun);  Wang, L (Wang, Liang);  Sun, G, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Polycrystalline 3c-sic  Resonator  Doping  Silicon-carbide  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li Jiaye;  Zhao Yongmei;  Liu Xingfang;  Sun Guosheng;  Luo Muchang;  Wang Lei;  Zhao Wanshun;  Zeng Yiping;  Li Jinmin
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ai B;  Shen H;  Liang ZC;  Chen Z;  Kong GL;  Liao XB;  Ai, B, Sun Yat Sen Univ, Energy Engn Acad, Inst Solar Energy Syst, Ghangzhou 510275, Peoples R China. E-mail: stsab@zsu.edu.cn;  shenhui11956@163.com
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  ZHAO Lei;  Zuo Yuhua;  Li Chuanbo;  Cheng Buwen;  Luo Liping;  Yu Jinzhong;  Wang Qiming
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  刘超;  高兴国;  李建平;  曾一平;  李晋闽
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Nedev N;  Beshkov G;  Fortunato E;  Georgiev SS;  Ivanov T;  Raniero L;  Zhang SB;  Martins, R;  Martins, R, Bulgarian Acad Sci, Inst Solid State Phys, Tzarigradsko Chaussee 72, BU-1784 Sofia, Bulgaria. 电子邮箱地址: rm@uninova.pt
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li J;  Chong M;  Heng Y;  Xu J;  Liu H;  Bian L;  Chi X;  Zhai Y;  Li, J, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: jml@red.semi.ac.cn
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Influence of the rapid thermal annealing on the properties of thin a-Si films 会议论文
ADVANCED MATERIALS FORUM II, 455-456, Caparica, PORTUGAL, APR 14-16, 2003
作者:  Nedev N;  Beshkov G;  Fortunato E;  Georgiev SS;  Ivanov T;  Raniero L;  Zhang SB;  Martins R;  Martins R Bulgarian Acad Sci Inst Solid State Phys Tzarigradsko Chaussee 72 BU-1784 Sofia Bulgaria. 电子邮箱地址: rm@uninova.pt
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