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N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  武婧敏
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Sun, Yuanbo;   Shi, Yanpeng;   Liu, Xiaoyu;   Song, Jinmei;   Li, Meiping;   Wang, Xiaodong;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(2106Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/18