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高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：258/2  |  提交时间：2022/07/15
面向III V Si多结太阳能电池的关键工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  赵永强
Adobe PDF(7524Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：304/6  |  提交时间：2022/07/25
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/2  |  提交时间：2022/07/25
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/3  |  提交时间：2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/0  |  提交时间：2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Han, Zhe;   Wang, Chao;   Liu, Yuanyuan;   Tian, Huiping
Adobe PDF(11071Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/24
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Chen, Shuo;   Liu, Yuanyuan;   Jin, Zhen;   Tian, Huiping
Adobe PDF(9834Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/24
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  He, Yurong;   Si, Chaowei;   Han, Guowei;   Zhao, Yongmei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(3973Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/11/03
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yang, Ying;   Liu, Yuanyuan;   Yang, Shuo;   Wu, Yongqin;   Tian, Huiping
Adobe PDF(8647Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/15