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高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：246/2  |  提交时间：2022/07/15
N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  武婧敏
Adobe PDF(5212Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/3  |  提交时间：2022/07/15
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/2  |  提交时间：2022/07/25
用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  魏江涛
Adobe PDF(5222Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/0  |  提交时间：2021/06/17
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/3  |  提交时间：2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/0  |  提交时间：2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, Taonan;   Liu, Runcong;   Yang, Jinling;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(1927Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hu, C. Y.; Yang, F. H.
Adobe PDF(548Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/24
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Gao, Zijie;   Shi, Yanpeng;   Li, Meiping;   Song, Jinmei;   Liu, Xiaoyu;   Wang, Xiaodong;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(3230Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28