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径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 977-982
Authors:  左然;  张红;  刘祥林
Adobe PDF(620Kb)  |  Favorite  |  View/Download:708/311  |  Submit date:2010/11/23