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无权访问的条目 学位论文
作者:  刘美杰
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无权访问的条目 学位论文
作者:  付登源
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碳化硅超级结结构关键工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  田润
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Cu2Se 纳米薄膜制备及其热电性能研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  杨亮亮
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用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  魏江涛
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面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
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无权访问的条目 学位论文
作者:  冯佐
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基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei Jiang-Tao;   Yang Liang-Liang;   Qin Yuan-Hao;   Song Pei-Shuai;   Zhang Ming-Liang;   Yang Fu-Hua;   Wang Xiao-Dong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, Shiyu;   Liu, Zeng;   Liu, Yuanyuan;   Zhi, Yusong;   Li, Peigang;   Wu, Zhenping;   Tang, Weihua
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