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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中国科学院半导体研究... [1]
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2000 [1]
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文献类型：专利
发表日期：2000
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磷化铟表面清洁方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2000-08-23, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
谭满清
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茅冬生
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提交时间：2009/06/11
