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一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-17, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  孙飞;  余金中;  陈少武
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Mg-Sb共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-08-22, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王鹏;  陈诺夫;  尹志岗
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