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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:278/2  |  提交时间:2022/07/15 |
| 面向III V Si多结太阳能电池的关键工艺研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 赵永强 Adobe PDF(7524Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/6  |  提交时间:2022/07/25 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:396/2  |  提交时间:2022/07/25 |
| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅 Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:365/3  |  提交时间:2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/0  |  提交时间:2021/06/16 |
| 面向宽带高效线性响应的硅基复合波导电光调制器的研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 匡迎新 Adobe PDF(5680Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:552/20  |  提交时间:2020/09/22 |
| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 张萌 Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:576/6  |  提交时间:2020/08/31 |