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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
无权访问的条目 学位论文
作者:  洪文婷
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无权访问的条目 学位论文
作者:  李迪
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li D(李迪)
Adobe PDF(1066Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1176/189  |  提交时间：2015/05/29