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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Dongfeng;   Mao, Shengcheng;   Teng, Jiao;   Wang, Xinliang;   Li, Xiaochen;   Ning, Jin;   Li, Zhipeng;   Zhang, Qing;   Tian, Zhiyong;   Wang, Menglong;   Zhang, Ze;   Han, Xiaodong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhou W;  Yang JL;  Li Y;  Ji A;  Yang FH;  Yu YD;  Yang JL Chinese Acad Sci Inst Semicond Qinghua Donglu A 35 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: jlyang@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhou, W;  Yang, JL;  Sun, GS;  Liu, XF;  Yang, FH;  Li, JM;  Zhou, W, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: jlyang@semi.ac.cn
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Fracture properties of silicon carbide thin films charcterized by bulge test of long membranes 会议论文
2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, Sanya, PEOPLES R CHINA, JAN 06-09, 2008
作者:  Zhou, W;  Yang, JL;  Sun, GS;  Liu, XF;  Yang, FH;  Li, JM;  Zhou, W, CAS, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
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Bulge Test Fracture Property  Silicon Carbide Thin Films  Weibull Distribution Function  
Fracture properties of PECVD silicon nitride thin films by long rectangular memrane bulge test 会议论文
2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, Sanya, PEOPLES R CHINA, JAN 06-09, 2008
作者:  Zhou, W;  Yang, JL;  Li, Y;  Yang, FH;  Yang, JL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
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Bulge Test  Fracture Property  Silicon Nitride  Weibull Distribution Function