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血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:238/1  |  提交时间:2023/07/03
基于键合工艺的Si/SiC界面特性研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  王风旋
Adobe PDF(3199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:284/5  |  提交时间:2022/07/25
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:345/3  |  提交时间:2021/06/18
高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:548/6  |  提交时间:2020/08/31
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jiangtao Wei;   Liangliang Yang;   Zhe Ma;   Peishuai Song;   Mingliang Zhang;   Jing Ma;   Fuhua Yang ;   Xiaodong Wang
Adobe PDF(7255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2021/06/17
4H-SiC UMOSFET关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  刘敏
Adobe PDF(5200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:519/21  |  提交时间:2019/11/18
GaAs/Si低温直接键合技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  刘雨生
Adobe PDF(1410Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:836/40  |  提交时间:2017/06/01
Gaas/si  直接键合  低温  等离子体活化  
无权访问的条目 学位论文
作者:  王晶晶
Adobe PDF(5732Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:295/2  |  提交时间:2016/06/03
无权访问的条目 学位论文
作者:  吕兴东
Adobe PDF(6169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:264/6  |  提交时间:2016/06/02
谐振型集成光学陀螺Sagnac敏感环与转动信号检测系统的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2016
作者:  杨添舒
Adobe PDF(6718Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:700/32  |  提交时间:2016/05/25