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中国科学院半导体研究所机构知识库
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专题:中科院半导体照明研发中心
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一种MOCVD设备中的石墨盘
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-10-25
发明人:
胡强
;
李晋闽
;
王军喜
;
曾一平
;
路红喜
;
伊晓燕
;
马平
;
魏同波
;
闫建昌
;
纪攀峰
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提交时间:2016/10/25