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可用于单光子探测的平面型雪崩二极管探测器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-09-09, 2012-09-09, 2012-09-09
发明人:  杨怀伟;  李彬;  韩勤
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一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200810225784.2, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  秦龙;  韩勤;  杨晓红;  朱彬;  鞠研玲;  李文兵
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