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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
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高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
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基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  黄镇
Adobe PDF(43171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:508/5  |  提交时间:2022/07/15
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:649/2  |  提交时间:2022/07/25
基于键合工艺的Si/SiC界面特性研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  王风旋
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无权访问的条目 学位论文
作者:  赵俊元
Adobe PDF(6365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2021/12/16
无权访问的条目 学位论文
作者:  刘美杰
Adobe PDF(4622Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2021/12/16
谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何玉铭
Adobe PDF(6703Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:506/2  |  提交时间:2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
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高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:742/6  |  提交时间:2020/08/31