已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 卢晓锐 Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:594/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:385/2  |  提交时间:2022/07/15 |
| 基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 黄镇 Adobe PDF(43171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:508/5  |  提交时间:2022/07/15 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:649/2  |  提交时间:2022/07/25 |
| 基于键合工艺的Si/SiC界面特性研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 王风旋 Adobe PDF(3199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:424/5  |  提交时间:2022/07/25 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 赵俊元 Adobe PDF(6365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2021/12/16 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 刘美杰 Adobe PDF(4622Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2021/12/16 |
| 谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何玉铭 Adobe PDF(6703Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:506/2  |  提交时间:2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:483/0  |  提交时间:2021/06/16 |
| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 张萌 Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:742/6  |  提交时间:2020/08/31 |