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皮秒激光垂直剥离4H-SiC晶圆技术研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  韩世飞
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碳化硅晶圆激光剥离机理与工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  姜璐
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全固态及LD直接泵浦TiAl2O3激光技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  苗张旺
Adobe PDF(9005Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：457/2  |  提交时间：2021/06/16