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低位错III-V族单晶衬底InP、GaSb和InAs的残留应力及其退火消除研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  周媛
Adobe PDF(5304Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:594/7  |  提交时间:2021/06/18