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基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Dongfeng;   Mao, Shengcheng;   Teng, Jiao;   Wang, Xinliang;   Li, Xiaochen;   Ning, Jin;   Li, Zhipeng;   Zhang, Qing;   Tian, Zhiyong;   Wang, Menglong;   Zhang, Ze;   Han, Xiaodong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Zhe;   Wei, Jiangtao;   Song, Peishuai;   Zhang, Mingliang;   Yang, Liangliang;   Ma, Jing;   Liu, Wen;   Yang, Fuhua;   Wang, Xiaodong
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