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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
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4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  郭志煜
Adobe PDF(10262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:335/2  |  提交时间:2022/07/26
4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  郭志煜
Adobe PDF(10262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/3  |  提交时间:2022/07/15
N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  武婧敏
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基于键合工艺的Si/SiC界面特性研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  王风旋
Adobe PDF(3199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:335/5  |  提交时间:2022/07/25
无权访问的条目 学位论文
作者:  刘美杰
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碳化硅超级结结构关键工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  田润
Adobe PDF(4990Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:516/3  |  提交时间:2021/06/17
Cu2Se 纳米薄膜制备及其热电性能研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  杨亮亮
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谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何玉铭
Adobe PDF(6703Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:412/2  |  提交时间:2021/06/18
高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:607/6  |  提交时间:2020/08/31