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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 卢晓锐
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| 4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 郭志煜
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| 4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 郭志煜
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| N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 武婧敏
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| 基于键合工艺的Si/SiC界面特性研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 王风旋
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 刘美杰
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| 碳化硅超级结结构关键工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 田润
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| Cu2Se 纳米薄膜制备及其热电性能研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 杨亮亮
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| 谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何玉铭
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| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 张萌
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