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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中国科学院半导体研究... [4]
作者
杨晓红 [4]
韩勤 [3]
贺继方 [1]
牛智川 [1]
文献类型
期刊论文 [3]
专利 [1]
发表日期
2009 [4]
语种
中文 [4]
出处
半导体光电 [2]
光子学报 [1]
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CSCD [3]
资助机构
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发表日期:2009
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一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 3998
发明人:
李文兵
;
韩 勤
;
秦 龙
;
杨晓红
;
倪海乔
;
杜 云
;
朱 彬
;
鞠研玲
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提交时间:2010/03/19
无权访问的条目
期刊论文
作者:
秦龙
;
韩勤
;
杨晓红
;
朱彬
;
鞠研玲
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浏览/下载:1304/361
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
朱彬
;
韩勤
;
杨晓红
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浏览/下载:1114/292
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提交时间:2010/11/23
无权访问的条目
期刊论文
作者:
鞠研玲
;
杨晓红
;
韩勤
;
杜云
;
倪海桥
;
黄社松
;
王鹏飞
;
贺继方
;
牛智川
Adobe PDF(317Kb)
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浏览/下载:1560/422
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提交时间:2010/11/23