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| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 尤志伟
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| 用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 魏江涛
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 骆伟
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 魏伟伟
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| MEMS惯性导航器件的结构级鲁棒性设计 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
作者: 司朝伟
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| 高性能 MEMS 陀螺的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2013
作者: 钟卫威
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| 辐射加固SOI 工艺FPGA 的设计与验证（二） 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
作者: 韩小炜
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