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Structural properties of polycrystalline silicon films formed by pulsed rapid thermal processing 会议论文
AMORPHOUS AND MICROCRYSTALLINE SILICON TECHNOLOGY-1998, 507, SAN FRANCISCO, CA, APR 14-17, 1998
作者:  Wang YQ;  Liao XB;  Diao HW;  He J;  Ma ZX;  Yue GZ;  Shen SR;  Kong GL;  Zhao YW;  Li ZM;  Yun F;  Wang YQ Chinese Acad Sci Inst Semicond State Lab Surface Phys POB 912 Beijing 100083 Peoples R China.
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Amorphous-silicon  Crystallization  Transistors  
High quality hydrogenated amorphous silicon films with significantly improved stability 会议论文
AMORPHOUS AND MICROCRYSTALLINE SILICON TECHNOLOGY-1998, 507, SAN FRANCISCO, CA, APR 14-17, 1998
作者:  Sheng SR;  Liao XB;  Ma ZX;  Yue GZ;  Wang YQ;  Kong GL;  Sheng SR Chinese Acad Sci State Lab Surface Phys Inst Semicond Beijing 100083 Peoples R China.
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A-si-h  Light Soaking  Photoconductivity  Increase  
High temperature annealing behaviors of luminescent SIOx : H films 会议论文
LUMINESCENT MATERIALS, 560, SAN FRANCISCO, CA, APR 05-08, 1999
作者:  Ma ZX;  Xiang XB;  Sheng SR;  Liao XB;  Shao CL;  Umeno M;  Ma ZX Chinese Acad Sci Inst Semicond Beijing 100083 Peoples R China.
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Raman-spectra  Silicon  Photoluminescence  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma ZX;  Liao XB;  Kong GL;  Chu JH;  Ma ZX,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,State Key Lab Surface Phys,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma ZX;  Liao XB;  Kong GL;  Chu JH;  Ma ZX,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Ctr Condensed Matter Phys,State Key Lab Surface Phys,Beijing 100083,Peoples R China.
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang XD;  Xu ZX;  Ma RZ;  Wang XD,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Natl Lab Superlattices & Microstruct,Beijing 100083,Peoples R China.
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