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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
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血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
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基于Al-Sc触点MEMS开关的移相器研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  张永康
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硅纳米线晶体管量子输运特性及其传感器应用研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  郭仰岩
Adobe PDF(7696Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：307/2  |  提交时间：2022/07/26
硅纳米线晶体管量子输运特性及其传感器应用研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  郭仰岩
Adobe PDF(7696Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/0  |  提交时间：2022/07/25
无权访问的条目 学位论文
作者:  付登源
Adobe PDF(5211Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2021/06/17
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/3  |  提交时间：2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, Taonan;   Liu, Runcong;   Yang, Jinling;   Wang, Xiaodong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhao, Dongyan;   Wang, Yubo;   Shao, Jin;   Zhang, Peng;   Chen, Yanning;   Fu, Zhen;   Wang, Shuaipeng;   Zhao, Wenlong;   Zhou, Zhimei;   Yuan, Yuandong;   Fu, Dengyuan;   Zhu, Yinfang
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