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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
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面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
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基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
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基于模板法的表面纳米结构制备与应用研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  马静
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硅微纳结构热电器件研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  祁洋洋
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金属辅助化学腐蚀法  Si纳米线  热电器件  微纳结构