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采用标准CMOS工艺制备脊型光波导的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-07-30
发明人:  黄北举;  张赞;  张赞允;  程传同;  毛旭瑞;  陈弘达
Adobe PDF(396Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：937/114  |  提交时间：2014/12/25
采用后端CMOS工艺三维光电集成的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-07-30
发明人:  黄北举;  张赞;  张赞允;  陈弘达
Adobe PDF(358Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1014/144  |  提交时间：2014/12/25