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Heteroepitaxial growth and annealing of gamma-Al2O3 thin films on silicon 会议论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 16 (28-29), XIAN, PEOPLES R CHINA, JUN 10-14, 2002
作者:  Tan LW;  Wang J;  Wang QY;  Yu YH;  Lin LY;  Tan LW Chinese Acad Sci Inst Semicond Ctr Mat Sci Beijing 100083 Peoples R China.
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Epitaxial-growth  Al2o3  Si