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中国科学院半导体研究所 314 中国科学院半导体研究所（2009年前） 282 半导体超晶格国家重点实验室 11
中科院半导体材料科学重点实验室 10 集成光电子学国家重点实验室 8 半导体材料科学中心 2
光电系统实验室 1