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中国科学院半导体研究所 129 中国科学院半导体研究所（2009年前） 118 半导体材料科学中心 4
光电子器件国家工程中心 3 中科院半导体材料科学重点实验室 2 集成光电子学国家重点实验室 1
光电系统实验室 1