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中国科学院半导体研究所 777 中国科学院半导体研究所（2009年前） 411 中科院半导体材料科学重点实验室 99
光电系统实验室 80 光电子研究发展中心 41 半导体集成技术工程研究中心 34
中科院半导体照明研发中心 28 集成光电子学国家重点实验室 15 全固态光源实验室 15
半导体超晶格国家重点实验室 14 光电子器件国家工程中心 14 纳米光电子实验室 14
半导体材料科学中心 7 固态光电信息技术实验室 3 高速电路与神经网络实验室 2