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中国科学院半导体研究所 96 中科院半导体材料科学重点实验室 61 中国科学院半导体研究所(2009年前) 17
半导体超晶格国家重点实验室 7 中科院半导体照明研发中心 4 半导体集成技术工程研究中心 3
纳米光电子实验室 3 光电系统实验室 1