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中国科学院半导体研究所 48 纳米光电子实验室 17 集成光电子学国家重点实验室 15
中科院半导体材料科学重点实验室 8 半导体人工神经网络实验室 4 半导体集成技术工程研究中心 2
中国科学院半导体研究所(2009年前) 1 全固态光源实验室 1