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中国科学院半导体研究所 501 中国科学院半导体研究所（2009年前） 191 半导体超晶格国家重点实验室 80
中科院半导体材料科学重点实验室 70 光电子研究发展中心 64 中科院半导体照明研发中心 31
集成光电子学国家重点实验室 27 纳米光电子实验室 23 半导体集成技术工程研究中心 6
固态光电信息技术实验室 5 高性能集成电路实验室 2 光电子器件国家工程中心 1
半导体人工神经网络实验室 1