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中国科学院半导体研究所 18 中科院半导体材料科学重点实验室 7 集成光电子学国家重点实验室 5
半导体超晶格国家重点实验室 2 光电子研究发展中心 1 中科院半导体照明研发中心 1
纳米光电子实验室 1 高性能集成电路实验室 1