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中国科学院半导体研究所 324 中国科学院半导体研究所（2009年前） 130 半导体超晶格国家重点实验室 44
中科院半导体材料科学重点实验室 37 光电子研究发展中心 36 半导体集成技术工程研究中心 34
全固态光源实验室 19 集成光电子学国家重点实验室 10 中科院半导体照明研发中心 5
光电系统实验室 3 光电子器件国家工程中心 2 固态光电信息技术实验室 2
纳米光电子实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1