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中国科学院半导体研究所 139 中国科学院半导体研究所（2009年前） 81 集成光电子学国家重点实验室 33
光电子研究发展中心 15 半导体超晶格国家重点实验室 5 纳米光电子实验室 2
光电系统实验室 2 高速电路与神经网络实验室 1