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中国科学院半导体研究所 42 中国科学院半导体研究所（2009年前） 25 半导体集成技术工程研究中心 13
半导体超晶格国家重点实验室 1 光电子研究发展中心 1 光电系统实验室 1
固态光电信息技术实验室 1