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中国科学院半导体研究所 77 纳米光电子实验室 41 中国科学院半导体研究所（2009年前） 15
光电子研究发展中心 13 集成光电子学国家重点实验室 4 中科院半导体材料科学重点实验室 3
表面物理国家重点实验室 1