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中国科学院半导体研究所 131 中国科学院半导体研究所(2009年前) 60 光电系统实验室 36
全固态光源实验室 11 半导体集成技术工程研究中心 7 半导体超晶格国家重点实验室 6
中科院半导体材料科学重点实验室 5 光电子研究发展中心 3 固态光电信息技术实验室 3