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中国科学院半导体研究所 55 光电子研究发展中心 16 纳米光电子实验室 15
中科院半导体材料科学重点实验室 11 中国科学院半导体研究所（2009年前） 6 集成光电子学国家重点实验室 4
固态光电信息技术实验室 3