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中国科学院半导体研究所 102 中国科学院半导体研究所(2009年前) 45 半导体超晶格国家重点实验室 17
半导体材料科学中心 12 光电子研究发展中心 8 纳米光电子实验室 6
集成光电子学国家重点实验室 5 中科院半导体照明研发中心 4 中科院半导体材料科学重点实验室 4
半导体集成技术工程研究中心 1