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中国科学院半导体研究所 84 中科院半导体材料科学重点实验室 28 中国科学院半导体研究所(2009年前) 22
光电子研究发展中心 11 光电子器件国家工程中心 8 半导体集成技术工程研究中心 5
光电系统实验室 4 半导体超晶格国家重点实验室 3 纳米光电子实验室 2
高速电路与神经网络实验室 1