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中国科学院半导体研究所 69 中科院半导体材料科学重点实验室 30 中国科学院半导体研究所（2009年前） 28
半导体材料科学中心 7 半导体集成技术工程研究中心 2 光电子研究发展中心 1
光电子器件国家工程中心 1