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中国科学院半导体研究所 150 中国科学院半导体研究所(2009年前) 75 光电子研究发展中心 17
纳米光电子实验室 15 中科院半导体材料科学重点实验室 12 半导体超晶格国家重点实验室 7
集成光电子学国家重点实验室 7 光电系统实验室 7 固态光电信息技术实验室 6
半导体集成技术工程研究中心 2 半导体人工神经网络实验室 2